| 製品名 | 特徴・用途 | カタログ |
シール断面測定装置 |
レーザフォーカス変位計により、液晶、ELガラス基板に塗布される接着材、シール材等の形状を計測し、塗布量の制御、塗布状態を監視します。サンプリング周波数は30-60Hzです。高さ計測範囲は100〜400μm、高さ分解能は0.1μm、最適化された光学系によりスロープ部形状の測定が可能です。 | お問合せください。 |
シール部形状検査装置 |
液晶・EL基板シール部位のギャップサイズ、シール材塗布状態の欠け・欠落などを検査します。ストロボ照明により試料を静止させ、テレセントリックレンズにより深い焦点深度で撮像するため、高価な搬送機械は不要です。。 |
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ガラス基板外観検査装置 |
マスターパターンとの差分でガラス基板の外観を検査します。検査項目は、外形寸法、切断ズレ、バリ、欠け、剥離、パターン切れ等です。 200mm×150mmサイズのガラス基板の外形寸法、欠陥を検査できます。 |
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素子形状・色彩・欠陥検査装置 |
素子の位置、形状を自動認識し、素子毎または全体の輝度ムラ、色ムラ、色度、異物、異常等を検査します。汎用レビューステーション、研究開発、製造ライン何れにも対応します。 | お問合せください。 |
パターン・電極検査装置 |
指定された領域のパターン、電極の線幅、間隔を自動測定します。オートフォーカス機能により、ワークの高さ変化にも自動追尾して測定が可能です。 | お問合せください。 |
