| 製品名 | 特徴・用途 | 価格 | カタログ |
| レーザフォーカス変位計 DM1002  |
移動焦点式計測方式による高精度変位計です。 計測位置をXY軸に移動するだけで試料の三次元計測が可能です。さらに本装置は、低ノイズ光源、高感度光検出器の採用により高感度化が図られ、反射率の低い試料にも対応できます。またZ軸走査に精密変位センサ内蔵のピエゾアクチュエータを採用しておりますので、1μm以内という高精度な計測を実現しています。 |
構成により変動します。お問合せください。 |  |
| シリコン基板厚さ測定装置 LTM1001  |
移動焦点コンフォーカル顕微鏡の原理を用いたシリコン基板の厚さ測定装置です。移動焦点コンフォーカル顕微鏡方式は、対物レンズで絞ったレーザ光の結像点をアクチュエータにより深さ方向に走査し、各深さ位置からの反射・散乱光を同じ対物レンズで集め光受光器により検知します。基板の厚さは基板表面からの反射光ピーク位置と基板裏面からの反射光位置間の変位に屈折率を掛けて測定します。LTM1001は、走査の全振幅に対する反射・散乱光信号波形を求めて特徴点を抽出するため、基板表面の形状や内部構造の観察も可能です。。 |
\5,500,000〜 | |
| 高速度ストロボ光源 FLL1001  |
808nmLDを用いたストロボ光源でトリガ信号に同期したパルス光で試料を照明し、試料を停止せずCCDカメラ等で連続静止画像を取得します。 パルス幅は外部トリガ信号に依存し可変です。最短パルス幅は1μSです。本光源はLDによる単色照明のため高解像度が得られます。また、ファイバ出力ですから取り扱いが容易です。ファイバ出力のピーク光量は最大0.4Wです。光量が不足する場合や照明ムラが問題になる場合は複数光源の対応も可能です。 |
\350,000〜 | |
