製品名 特徴・用途 カタログ
マイクロチップ・マニピュレータ
本装置は、月産数万個の少量ロット生産をサポ−トする小型低コストのマイクロチップアセンブリシステムです。不定型な異形チップの小型モジュールへの搭載等に対応します。
オプションの光励起ユニット(開発中)と組み合わせることにより、電極がないデバイスのアクティブなマウント・組み立ても可能です。
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ウェハレベル光素子測定システム
LED・VCSEL・OLED等発光素子や、Si・InGaAs・Geフォトダーイオード等受光素子の電気特性・光学特性をウエハレベルで検査解析するシステムです。
システムは、セミオートプローバシステム・高機能NFP光学系またはレーザ照射光学系・各種電気光学測定器・制御測定解析用統合ソフトウェアで構成されます。
セミオートプローバシステムには、半導体製造・検査装置分野で卓越した性能を誇るドイツ・ズースマイクロテック社製システムを採用しています。

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ウェハ厚さ測定装置
表面と裏面の反射信号の間隔からウェハーの厚さを測定します。測定時間は1ポイント約30msです。原理上材質の屈折率補正が必要です。梨地面の測定についてはご相談下さい。 お問合せください
レビューステーション
300mmφウェハの顕微鏡観察を目的としたレビューステーションです。ウェハステージと顕微鏡光学系、レビューステーション欠陥観察ソフトは標準システムをベースに各種対応致します。
お問合せください。
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製品情報
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PD・PDIC測定装置
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形状・変位測定装置
半導体関連組立・テスト・観察装置
FPD製造工程用検査装置
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TEL:053-430-5023
FAX:053-430-5024
メール:
sales1@p-gauges.com


本社:〒433-8105 静岡県浜松市北区三方原町283-4 TEL:053-430-5023 FAX:053-430-5024
東京支店:229-1131 神奈川県相模原市西橋本5-4-21 さがみはら産業創造センター SIC-1 1F3 TEL:042-785-354
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半導体関連組立・テスト・観察装置