| 製品名 | 特徴・用途 | カタログ |
AFMレビューステーション |
●究極の剛性：除振機構無しで2000倍の顕微鏡実画像が外部振動の影響を殆ど受けない ●画像処理による欠陥位置認識座標に、小型ＡＦＭヘッドをフィードして計測 ●ＡＦＭヘッド内蔵のＸ-Ｙ-Ｚステージは、フルクローズド制御によりリニアに駆動 ●１μｍ精度の画像計測と、1ｎｍ精度のＡＦＭ計測を両立 ●ＡＦＭによる最大□110μｍの計測画像を精度良く張り合わせる事により、ＳＥＭ相当の広域計測が可能 価格、構成等詳細はお問合せください お問合せは弊社東京支店までお願いします⇒お問合せ |
 |
マイクロチップ・マニピュレータ |
少量ロット生産をサポ−トする小型低コストのマイクロチップアセンブリシステムです。不定型な異形チップの小型モジュールへの搭載等に対応します。 ・PCサイズのマニピュレータは、究極の剛性を有し、石定盤や除振台無しで安定動作するため、作業机１台分のスペースで、ダイボンディングが可能になります。 ・ダイボンディングの繰り返し精度1μmが可能です。 ・チップサイズ□100μm〜□2mmに対応します。 ・マニピュレータ上の動作範囲φ150mmの中で、チップ供給及びダイボンディングが可能です。 ・金錫融着、銀ペイ融着、ハンダ融着、UV接着等をサポートします。 ・LDチップ、PDチップ、レンズ、フィルター、等の搭載・組付を1μm精度で行います。 ・吸着コレットではなく、ハンドでデバイスを搭載する為、高倍率の顕微鏡画像で搭載状況を確認する事ができます。 ・ハンドやピンでデバイスを把持したまま融着・接着を行いますので、熱膨張、収縮、硬化収縮による影響を限りなく抑えることができます。 |
 |
ウェハ厚さ測定装置 |
表面と裏面の反射信号の間隔からウェハーの厚さを測定します。測定時間は1ポイント約30msです。原理上材質の屈折率補正が必要です。梨地面の測定についてはご相談下さい。 | お問合せください。 |
レビューステーション |
300mmφウェハの顕微鏡観察を目的としたレビューステーションです。ウェハステージと顕微鏡光学系、レビューステーション欠陥観察ソフトは標準システムをベースに各種対応致します。 |
お問合せください。 |
