| 製品名 | 特徴・用途 | カタログ |
マイクロチップ・マニピュレータ |
本装置は、月産数万個の少量ロット生産をサポ−トする小型低コストのマイクロチップアセンブリシステムです。不定型な異形チップの小型モジュールへの搭載等に対応します。 オプションの光励起ユニット（開発中）と組み合わせることにより、電極がないデバイスのアクティブなマウント・組み立ても可能です。 |
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ウェハレベル光素子測定システム |
LED・VCSEL・OLED等発光素子や、Si・InGaAs・Geフォトダーイオード等受光素子の電気特性・光学特性をウエハレベルで検査解析するシステムです。 システムは、セミオートプローバシステム・高機能NFP光学系またはレーザ照射光学系・各種電気光学測定器・制御測定解析用統合ソフトウェアで構成されます。 セミオートプローバシステムには、半導体製造・検査装置分野で卓越した性能を誇るドイツ・ズースマイクロテック社製システムを採用しています。。 |
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ウェハ厚さ測定装置 |
表面と裏面の反射信号の間隔からウェハーの厚さを測定します。測定時間は1ポイント約30msです。原理上材質の屈折率補正が必要です。梨地面の測定についてはご相談下さい。 | お問合せください。 |
レビューステーション |
300mmφウェハの顕微鏡観察を目的としたレビューステーションです。ウェハステージと顕微鏡光学系、レビューステーション欠陥観察ソフトは標準システムをベースに各種対応致します。 |
お問合せください。 |
